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怎样保养无尘室

日期：2025-04-30 14:59

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摘要：无尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本片将对该二系统之运转维护及保养做一说明。无尘室内之生产制造设备应注意以下事项： 1.生产设备之选择、布置与保养： ◆.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。 ◆.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。 ◆.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。 ◆.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。 ◆.真空泵等容...

无尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本片将对该二系统之运转维护及保养做一说明。

无尘室内之生产制造设备应注意以下事项：

1.生产设备之选择、布置与保养：

◆.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。

◆.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。

◆.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。

◆.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。

◆.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。

◆.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。

◆.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。

◆.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。

◆.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。

◆.对于施工或维修之厂商，应告知进出无尘室之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。

◆.应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。

◆.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。

2.生产设备之防尘措施：

◆.磨损、切削均为发生微尘之原因，故需将发尘部分掩盖之。

◆.易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。

◆.在操作时，尽量减少接触零件或产品。

◆.不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。

◆.各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。

◆.为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。

3.自动化与无尘化：

◆.设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。

◆.建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定，无尘室作业人员作业规则，无尘室管理规则等，这些规则已在前面章节叙述，此处不再说明。

在无尘室之维护管理方面，可分三部分加以说明：

1.建筑物之维护管理：

◆.建筑物内定期检查清洁。

◆.地板之清扫管理及损坏更新。

◆.隔间墙及天花板检查清洁和封补。

◆.窗户及门之保养等。

2.环境测定与管理：

无尘室内之运转环境状况如温、湿度及微尘粒子数应每日定期量测，以确实掌握质量，若有数据异常，可立即做紧急处理。

3.防尘空调设备之维护管理：

◆.温、湿度及尘埃浓度管理，在前面以述及，唯其量测仪器应做定期校正检验，若有设备移动或施工时须做局部测量。

◆.过滤网之管理：定期检查及更换，表6为各种过滤网之检查及更换周期。

◆.空气调节器管理：定期检查隔板接缝及内部污染状况，冷热盘管是否有腐蚀现象。

◆.送风机之管理：定期检查送风机运转状况。如表7所示为送风机之各项检查内容及周期。

◆.风管及出风口之管理：检查风管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温脱落等。

◆.测试及量测仪器管理：定期校正及保养。

◆.室内压力管理：连续监视室内压力记录，以维持正压为基准。

◆.冷冻主机、泵浦、锅炉及冷却水塔之管理：定期检查保养及记录运转状况及水质变化分析，以调整加药量等。

◆.无尘室停止运转再开机要点管理：启动后立即进行微尘粒子之测试，须无尘室恢复稳定正常时再开始作业。

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